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多腔体沉积镀膜刻蚀设备
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德国Sentech多腔体沉积镀膜刻蚀设备,集群配置,所有等离子工具都可以排列在一个集群工具中。提供用于研发和高吞吐量生产的集群。通过单个晶圆装载锁和/或晶圆盒站装载晶圆。

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产品详情

德国Sentech多腔体沉积镀膜刻蚀设备

集群配置
所有等离子工具都可以排列在一个集群工具中。
提供用于研发和高吞吐量生产的集群。
通过单个晶圆装载锁和/或晶圆盒站装载晶圆。
 
 
 
 

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