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SI 500 C 低温感应求耦合等离子体蚀刻机
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德国Sentech 低温感应求耦合等离子体蚀刻机 SI 500 C，最大 8 英寸晶圆，-150°C...+150°C

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产品详情

德国Sentech 低温感应求耦合等离子体蚀刻机 SI 500 C

 

 

主要特点

❑电极温度   -150°C….+150°C

❑PTSA 200 ICP 源

❑动态温度控制

❑高速泵送

 

应用特点

·深硅蚀刻

·高纵横比

·高灵敏度

 

技术特点

❑-150°C...+150°C

❑10 升/小时 LN2 消耗量

❑ICP，1100 瓦，13.56 MHz

❑偏置，600 W，13.56 MHz

❑1360 l/s 涡轮分子泵、旋转或干式前级泵

❑最大 8 英寸晶圆

❑用于 12/16 条燃气管线的气箱

❑基于 Windows 的 SENTECH 操作软件

❑OES、SLI、衬板、腔室加热、冷却器、反应器截止阀可选

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