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FR-Scanner自动化超高速精准薄膜厚度测量仪
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FR-Scanner: 自动化超高速精准薄膜厚度测绘
FR-Scanner 是一款紧凑的台式测量工具，全自动测绘涂层的厚度，基底适用于晶圆，掩膜版及其它材料。FR-Scanner 可以快速和准确地测量薄膜特性，比如厚度，折射系数，均匀性，色度等，真空吸盘可应用于任何直径或其它形状的样品。
FR-Scanner 通过旋转晶圆片和以无与伦比的速度和精度(半径和角度)线性移动晶圆片进行扫描整个晶圆片，通过这种方式，可以记录具有高重复性的精确反射率数据，使FR-Scanner成为at-line及on-line测绘晶圆上的涂层或其他基片上涂层的理想工具。
FR-Scanner提供了广泛的应用配置，薄膜薄到几纳米，厚到几百微米，并配置专用的软件用于日常使用。FR-Scanner在准确性、精度、再现性和长期稳定性方面都提供了出色的性能。
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Applications应用
o 半导体生产制造：
(photoresists, dielectrics,poly- Si, a-Si, DLC,photonic multilayerstructures)
o PV Industry光伏产业
o Univ. & Research labs 大学，研究所，实验室
o Liquid Crystal Display 液晶显示
o Optical Coatings 光学薄膜
o Polymers 聚合物
o MEMS and MOEMS 微机电和微光机电
o 基底: 透明和半透明 transparent (glass, quartz, etc.) and semi transparent
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