曝光灯HBO 200W/DC ，HBO 350W/S，HBO 1000W/D，HBO 5000W/S

HBO® short-arc mercury varour lamps for microlithography

适用SUSS苏斯光刻机型的曝光灯

灯管型号     寿命（H）    适用SUSS苏期光刻机型

HBO 200W/DC    1000H       MJB3, MJB4

HBO 350W/S     600H       MA4, MA6, MA8, MA150, MJB3, MJB21,UV300/500

HBO 1000W/D    1000H      MA150,MA200,MA4,MA6, MA8

HBO 5000W/S    1000H      MA300

以下是欧司朗曝光灯的技术参数,适用于苏斯光刻机以及ASML阿斯麦，NIKON尼康，Canon佳能，EVG, OAI等品牌光刻机