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FR-Pro 膜厚测量仪
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用于表征1nm-3mm厚度范围内的 涂层的模块化和可扩展平台。FR-pRo 工具是为满足用户对各种不同无损表征应用的需求而量身定制的,例如:薄膜厚度、折射率、颜色、透射率、反射率、温度或环境受控环境或液体环境中的薄膜表征等等......
FR-pRo 工具由用户选择的模块组装而成。核心单元容纳光源、光谱仪(适用于190nm-2500nm范围内的任何光谱范围)以及控制和通信电子设备。该工具附带一组参考样品(Si 参考、SiO2/Si, Si3/N4/硅2/Si) 的 S然后,有各种各样的配件,例如:
。用于反射率测量的薄膜厚度套件,
。FR-Mic 用于非常小区域的测量,
。手动和电动舞台,
。用于吸光度/透射率和化学浓度测量的胶片/比色皿支架,
。用于在受控温度或液体环境中进行测量的热敏或液体套件
。用于漫反射和总反射的积分球
通过不同模块的组合,最终设置满足任何最终用户的需求
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