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半导体微纳检测仪器 > IAS日 杂质分析化学品检测分析系统
 
金属标准气雾剂生成系统 MSAG
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MSAG金属标准气雾剂生成系统,是一种用于纳米颗粒分析及直接气体分析的重要工具,尤其适用于电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS)。该设备能够以0至3μL/min的速度将混合金属标准溶液引入雾化器,确保了高灵敏度和准确性。通过MSGG装置监测ICP-MS灵敏度变化,并利用钼气态标准作为内标。实验结果表明,当流速低于3 μL/min时,能够获得线性校准曲线并实现100%的标准溶液引入。此外,通过GED-ICP-MS技术,成功检测到高纯度NH₃气体中的铜和锌颗粒,其浓度分别为0.48和0.07纳克/千克。

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金属标准气雾剂生成系统 MSAG

MSAG 是用于纳米颗粒分析以及诸如通过电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS)进行的激光烧蚀(LA)和气体交换装置(GED)等直接气体分析不可或缺的工具。

● 通过 MSAG 以 0 至 3 μL/min 的速度将 10 纳克/毫升的混合金属标准溶液直接引入雾化器。

● 还使用了 MSGG(金属标准气生成)装置来监测 ICP-MS 灵敏度的变化,并以钼气态标准作为内标。

● 在 3 微升/分钟以下获得了具有内标校正的线性校准曲线。

● 对三种不同的雾化器进行了检测,流速为 1 微升/分钟,并获得了可重复的结果,这表明引入雾化器的标准溶液的 100%被引入到 ICP-MS 的等离子体中。

● 当标准溶液以超过 3 μL/min 的速度进样时,灵敏度开始下降,这表明一部分标准溶液被困在喷雾室中。

通过 GED-ICP-MS 技术,在高纯度 NH₃气体中检测到了许多铜和锌的颗粒。

◆铜和锌的浓度分别通过水溶液标准溶液计算得出,分别为 0.48 和 0.07 纳克/千克。

◆一个具有 5 个计数信号的粒子分别相当于纯铜和纯锌的 30 和 36 纳米粒径。

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