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光刻机/微纳加工 > 英国 AML 键合机
 
键合机 AWB-04, AWB-08,ROCK-04,ROCK-08
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英国AML原位对准晶圆键合机 AWB-04, AWB-08,ROCK-04,ROCK-08 ，对准+活化+键合，一站式完成，并具有纳米压印功能。

AWB-04 : 可键合 3”, 4” 及 6” 晶圆
AWB-08 : 可键合 6” 及 8” 晶圆
ROCK-04 : 可键合3”, 4” 及 6”晶圆
ROCK-08 : 可键合 6” 及 8” 晶圆
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产品详情

英国AML原位对准晶圆键合机

AWB-04, AWB-08,ROCK-04,ROCK-08 ，对准+活化+键合，一站式完成，并具有纳米压印功能

 

 

AML生产的对准键合机，是目前市场上唯一能够实现在同一设备上完成原位对准、激活、键合的设备，是MEMS，IC，和III-V键合工艺的最佳选择。在实现原位键合的同时，该设备也被用于压纹、印压、纳米压印及其它图形转移技术。可用于科研，并具有适合批量生产的全自动设备。
 
AML Bondcenter 为客户提供制作键合基底，键合器件及3D集成和芯片级封装的最佳场所。

 

 
 
 
 
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