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半导体辅助设备 > 高温退火炉
 
AS-MASTER 法国Annealsys高温退火炉
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法国Annealsys高温退火炉 AS-MASTER，多用途200mm RTP 设备，温度范围：室温至1450°C，大气压到10-6 Torr 手动或 自动基片装载

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法国Annealsys高温退火炉 AS-MASTER，

多用途200mm RTP 设备，温度范围：室温至1450°C，大气压到10-6 Torr 手动或 自动基片装载。

 

Specification tables

规格参数表

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Temperature uniformity

温度均匀性

 

 

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