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PD-4800等离子体增强的化学气相沉积系统
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PD-4800是一种等离子体增强的化学气相沉积系统,能够沉积二氧化硅,氮化硅,和 非晶硅 。

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PD-4800是一种等离子体增强的化学气相沉积系统,能够沉积二氧化硅,氮化硅,和 非晶硅 。

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