日本RION液体光学颗粒度仪KS-41A ( 光阻专用）

可检测光阻产品、SOG 等产品中 0.15um 的颗粒。

产品简述：

最小可测粒径: 0.15μm

额定流量: 10毫升/分钟

最大粒子数浓度: 1200粒/毫升(巧合损失5%)

详细规格：

光源：镭射二极管（波长830nm，额定输出200mW)
接触样品部件材料：人造石英 PFA

流量：10mL/min

设定范围：0.15μm~0.5μm,通过 KE-40B1 的控制器可扩充至 10 个通道
粒径范围（4个通道，出厂默认）：≥0.15μm， ≥0.2μm ，  ≥0.3μm ，  ≥0.5μm
最 大粒子数浓度：1 200 颗/L （误差值低于5%）
采样管直径：外径：φ16mm, 内径：φ12mm
电源：DC12V,(由KE-40B1供应）
尺寸和重量：约：H160*W300*D251 (mm),  约重7.5kg

综合泄漏传感器与报警输出
 客户可在此测量范围内自行选择粒径通道（通过 KE-40B1）