Nikon 步进光刻机及几种研发常用试验机型资料

I线步进式光刻机 / I-line stepper

型号：Nikon NSR-I12

技术指标及功能

广泛应用于生产线，是6英寸，8英寸等主力I线生产机台，适用于I线光刻胶的曝光，操作简单，曝光精度准，解析力最高可达0.35UM （350NM）

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Nikon G-line步进光刻机

规格型号：Nikon NSR-1755G7

技术指标及功能

适用于分辨率不低于0.65μm的大规模集成电路工艺器件量产的G-line步进式光刻机。

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Nikon NSR 1755i7B 6英寸分步重复光刻机 

技术指标及功能

把掩膜版上的图形按照一定的比例缩小复制到涂布有光刻胶的晶圆上，分区域进行步进式曝光。本机台可用于125mm×125mm掩模和φ100mm及150mm的晶圆高精度投影曝光，曝光精度可达500nm。
　　　基本指标1. RESOLUTION：0.5μm
　　　        2. LENS DISTORTION：≤0.9μm
　　　　　　　3. RETICLE ALIGNMENT ACCURACY：≤0.02μm
　　　　　　　4. STEPPING ACCURACY：≤0.08μm
　　　　　　　5. OVERLAY ACCURACY：≤0.15μm(X,Y)
　　　　　　  6. OPEN FLAME(MAX. EXPOSURE AREA)：17.5×17.5mm

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步进式投影光刻机

分辨率:0.35μm， 套刻精度:< 75nm, 十字线对准:5:1 ， 150毫米* 150毫米

Resolution：0.35μm, overlay accuracy：<75nm Reticle：5:1 150mm*150mm