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半导体微纳检测仪器 > Zeiss 德 扫描电镜及电子束直写仪
 
Sigma 300 场发射电子显微镜
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德国Zeiss 场发射电子显微镜SIGMA 300专利Gemini镜筒,超高的束流稳定性,卓越的低电压性能,In Lens 探测器,磁性材料高分辨观察,顶级X射线分析设计,便越操作系统设计,超大空间,多接口,升级灵活。

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产品详情
德国Zeiss 场发射电子显微镜 SIGMA 300

Sigma 300性能特点:

  1.专利Gemini镜筒

  2.超高的束流稳定性

  3.卓越的低电压性能

  4.In Lens 探测器

  5.磁性材料高分辨观察

  6.顶级X射线分析设计

  7.便越操作系统设计

  8.超大空间,多接口,升级灵活

      

主机系统:

 。GEMINI 镜筒,基本抽真空系统,带 EDS、EBSD 和 WDS 接口的标准样品室,带有软件操纵杆的 5 轴马达自动样品台,In-lens SE 探测器,ET-SE 探测器,样品电流监测器,样品室观察系统(CCD),Win 7 操作系统。

 。 24” 彩色平板显示器

 。带有旋钮控制和键盘的控制板

 。双操纵杆样品台控制器

 。5 象限高分辨率背散射电子探测器(用于高分辨率背散射电子成像) 

 

Gemin双子星FESEM镜筒集成了以下四大特点:

1.电子束无交叉

2.束流推进器

3.环形浸没式探测器

4.电磁/静电组合物镜

  

软件:

  。高级测量软件 

  。中心点与中心特征软件

  。双通道软件

  。漂移校正功能 

  。鱼眼模式 

  。载物台优中心功能 

  。多账户功能

  。16 位灰度存储软件 

  。Gamma/LUT 转换模块 

 

接口及附件 :
 
  。能谱仪接口 
  。空压机 230V 50Hz / 60Hz (not oil free) 
  。冷却循环水机 110 - 230V (50/60 Hz)  
 
 
制样备件:
 
  。双面碳导电胶带,8mm W x 20m L  

  。镊子57° angle, 100mm long, for 12.7mm pin stubs专用镊子

  。单桩样品座 Ø12.7mm x 8mm pin height 

 

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