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光刻机/微纳加工
 
步进式投影光刻机
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 步进式投影光刻机,分辨率:0.35μm

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Nikon 步进式投影光刻机

 

分辨率:0.35μm， 

套刻精度:< 75nm,

十字线对准:5:1 ， 150毫米* 150毫米


Resolution：0.35μm overlay accuracy：<75nm Reticle：5:1 150mm*150mm

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