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光刻机/微纳加工
 
Nikon NSR-I12 I线步进式光刻机 / I-line stepper
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日本Nikon NSR-I12I线步进式光刻机适用于6英寸、8英寸晶圆量产，支持I线光刻胶曝光，解析力最高达0.35μm，具备高精度、高稳定性及操作简便等特点，广泛应用于半导体生产线。

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产品详情

Nikon NSR-I12   I线步进式光刻机 / I-line stepper，

 

型号：Nikon NSR-I12

技术指标及功能
 

广泛应用于生产线，是6英寸，8英寸等主力I线生产机台，适用于I线光刻胶的曝光，操作简单，曝光精度准，解析力最高可达0.35UM （350NM）

 

 

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