检测元素范围

WDS：(Be)^*1 /B～U, EDS：B～U

X射线检测范围

WDS检测的波长范围:  0.087～9.3nm,
EDS EDS检测的能量范围:  20keV

分光谱仪数量

WDS: 1～5道可选、EDS: 1台

最大样品尺寸

100mm × 100mm × 50mm（H）

加速电压

0～30kV（以0.1 kV为步长）

束流电流范围

10^-12 ～ 10^-5 A

束流电流稳定度

5%/h, ±0.3%/12h（W）

二次电子分辨率

6nm（W）, 5nm（LaB₆）^*2
（W.D. 11mm, 30kV）

扫描倍率

×40 ～  ×300,000（W. D. 11mm）

扫描图像分辨率

最大 5,120× 3,840

彩色显示器

EPMA分析用: LCD 1,280 × 1,024
SEM操作、 EDS分析用:  LCD 1,280 × 1,024

光学显微镜

分辨率

～1um

焦深

1um

真空系统

机械泵、分子泵、离子泵                           ^*2

真空度

样品室:  优于8.0 x 10^-4Pa,
电子枪:  优于9.0 x 10^-5Pa