物镜极靴^*1

超高分辨UHR

高分辨率HR

高倾斜HT

高衬度HC

分辨率

　点分辨率
晶格分辨率

0.17nm
0.1nm

0.19nm
0.1nm

0.21nm
0.1nm

0.26nm
0.14nm

能量分辨率

0.9 eV（零损失FWHM）

加速电压

300kV，200kV,100kV^*2

　最小步长
　能量位移

100V
最大3,000V (以0.2V为步长)

电子枪

　发射体

ZrO/W(100) 肖特基式

　亮度

≧7×10⁸ A/cm² ・ sr

　真空度

3×10^-8Pa

　探针电流

探针直径为1nm时，电流在0.5nA以上

稳定度

　加速电压

2×10^-6/min

　物镜电流

1×10^-6/min

　过滤器透镜电流

1×10^-6/min

物镜

　焦距

2.7 mm

3.0 mm

3.5 mm

3.9 mm

　球差系数

0.6 mm

1.1 mm

1.4 mm

3.2 mm

　色差系数

1.5 mm

1.8 mm

2.2 mm

3.0 mm

　最小焦距步长

1.0 nm

1.4 nm

1.5 nm

4.1 nm

束斑尺寸

　TEM 模式

2 ～ 5 nmφ

2 ～ 5 nmφ

7 ～ 30 nmφ

　EDS 模式

0.4 ～ 1.6 nmφ

0.5 ～ 2.4 nmφ

4 ～ 20 nmφ

　NBD 模式

0.4 ～ 1.6 nmφ

0.5 ～ 2.4 nmφ

-

　CBD 模式

0.4 ～ 1.6 nmφ

0.5 ～ 2.4 nmφ

-

电子束衍射

　衍射角(2α)

1.5 t～ 20 mrad

-

　取出角

±10 °

-

倍率

　MAG 模式

×2,500 ～ 1,500,000

×2,000 ～ 1,200,000

×1,500 ～ 1,200,000

　LOW MAG 模式

×100 ～ 3,000

　SA MAG 模式

×8,000 ～ 600,000

×6,000 ～ 500,000

×5,000 ～ 500,000

视野

10eV时狭缝宽度60mm(底片上)
2eV时狭缝宽度25mm(底片上)

相机长度

　选区电子衍射

200 ～ 2,000 mm

250 ～ 2,500 mm

400 ～ 3,000 mm

EELS 散射

　能量选择
　在能量选择狭缝上

0.85 μm/eV , 300 kV

　底片上

100 ～ 220 μm/eV , 300kV

样品室

　样品移动范围 (XY/Z)

2mm/0.2mm

2mm/0.4mm

2mm/0.4mm

2mm/0.4mm

　样品倾斜角 (X/Y)

±25°/±25°^*3

±35°/±30°^*3

±42°/±30°^*3

±38°/±30°^*3

EDS^*4

　固体角

0.13 sr

0.09 sr

　取出角

25°

20°