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光刻机/微纳加工
 
美Coherent 准分子激光器Excitar XS 200 emon, Excitar XS 500
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美Coherent 准分子激光器Excitar  XS 200 emon, Excitar  XS 500，超紧凑、轻型、高度可靠的紫外线光源

 

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产品详情

 美Coherent 准分子激光器Excitar  XS 200 emon,    Excitar  XS 500
详细介绍

超紧凑、轻型、高度可靠的紫外线光源

型号名称

波长 (nm)

最大脉冲频率 (Hz)

最大脉冲能量 (mJ)

最大功率 (W)

ExciStar XS 200

157

200

2

0.2

ExciStar XS 500

 

500

 

0.5

ExciStar XS 200

193

200

10

1

ExciStar XS 500

 

500

 

2.5

ExciStar XS 200

248

200

12

1.6

ExciStar XS 500

 

500

 

4

ExciStar XS 200

351

200

5

0.8

ExciStar XS 500

 

500

 

2



ExciStar Performance at 193 nm and 248 nm/500 Hz



MECHANICAL SPECIFICATIONS



 

应用
 

应用

工艺

材料

金刚石和镜片打标

内雕

金刚石

激光视力校正

热处理

玻璃

快速原型

 

塑料

线剥离

 

特征与优点
 

ExciStar XS 关键特性

客户优势

超紧凑

低投入成本

轻型设计

灵活集成

Almeta 管

延长的管寿命

电晕预电离

稳定、同类的输出

固态开关

免维护操作

能量监控

预设、稳定的能量输出   

 
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