IXION 193 SLM 是一款单频全固态激光系统，适用于光学计量、193 nm 步进光学元件校准或高功率 ArF 准分子激光器的带宽控制等应用。

其光谱带宽小于 80 MHz，接近其理论傅里叶极限。

该系统的中心波长可在 185 至 194 nm 范围内定制，并可在购买时预先配置为固定波长。

系统可选配集成一台绝对光谱精度为 0.001 nm 的高精度光谱仪。这可以最 大 程度地控制激光器的光谱调谐。