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半导体微纳检测仪器 > Sentech德 椭偏仪 膜厚仪
 
RM 2000 光谱反射膜厚仪
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. 在垂直入射角的无接触、光学反射测量，表征薄膜和大块材料
.光谱范围从200到1000 nm
. 功能强大的、独特的分析软件包FTPadv Expert
. 高稳定的氘灯和卤素钨灯光源
. 高精度的样品准直，带光学自动准直透镜ACT和显微镜
. 可选的XY扫描功能，最大200 mm行程，高空间分辨率
. 新式、易用、高效和耐用的用户界面，包括预置应用的功能强大的软件包、呈现半导体微电子、磁性介质、生命科学、颜色测量以及其他
 
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产品详情
RM 2000
UV-VIS Spectroscopic Reflectometer
光谱反射膜厚仪
 

光谱台式反射仪 RM 2000 是用于在宽光谱范围内表征薄膜和大块材料的光学反射测量仪器。紫外-可见光光学反射仪 RM 2000 提供垂直入射角的反射率谱，并通过 FTPadv Expert 软件、按照样品参数例如膜厚、吸收、组分、带隙、颜色、光谱带宽等进行分析。

 

主要应用是对透明和吸收衬底上的透明膜、半透明膜的快速、简便的膜厚测量。覆盖了从 2 纳米到100 微米的膜厚范围，借助大容量、可扩展的材料数据库、仪器适用于多种材料体系。
 
RM 2000 测量反射率的原理是基于测量反射光强度、并与参比样片的反射光强度进行对比。参比样片是仪器交付的一部分。
 
快速运算法则确保实现光学测量、以及高重复率地计算膜厚。AutoModeling（自动建模）功能可通过快速比较谱线数据库、确定样品类型。
 
紫外-可见光反射仪 RM 2000 包括台式显微镜单元、带样片台和用于照明、较小样片光斑、以及探测反射光的光学设置，还包括样片准直功能、包括自动准直透镜 ACT 和显微镜物镜、用于准确控制样片的高度和倾斜度位置。电子机箱包括内置的微控制器和光谱仪。电子机箱可通过以太网 LAN、与任何运行 MS Windows 操作系统的新型电脑连接。
 
紫外-可见光反射仪 RM 2000 可选配计算机控制 XY 扫描平台、进行样片特性的扫描。扫描测量软件可定义任意的测量图案、用 2 维或 3 维图显示结果、并实现对样品的统计。
 
用户软件易于操作、并清晰地呈现测量结果。软件支持单层膜膜厚测量、也支持对复合多层膜的分析。软件提供预置的、用户定义的应用程序。
 
 
Technical Specifications 技术指标
 
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