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镀膜沉积系统 > 德Eberl MBE分子束外延系统
 
OCTOPLUS 1000 多波束电子束
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德国 Eberl 的多波束电子束OCTOPLUS 1000系统，专为最大12英寸SiGe外延生长设计，适用于MBE（分子束外延）工艺。该系统提供高效、高精度的沉积技术，确保高质量薄膜的生长，广泛应用于半导体制造领域。

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德国Eberl  多波束电子束 OCTOPLUS 1000, 用于最大 12 英寸基底 SiGe 外延生长的 MBE 系统

 

 

 

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